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氢高能离子注入机iPUMA-H

iPUMA-H是99499www威尼斯在已有粒子加速器基础上,开发出来的12英寸氢高能离子注入机。该装备运用了独特的加速器技术,使得氢离子获取很高的能量。该装备装配薄片传输装置,满足了功率器件的需求。

国内自主研发的氢高能离子注入平台

质子加速器技术

薄片传输能力

适用于功率器件

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